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大型超薄精密光栅研制成功

2016-10-20

JXHY-01G是一种大型超薄形精密光栅。它的特点是栅线精密。全周12960等分,6480Ip/360,光栅盘外Φ245、内Φ220,厚度仅为2.3,属于一种刚度较低的圆环状基片,由于环状的面积很窄,给镀铬膜匀胶带来了许多工艺上的困难;同时,由于面型和平行差变化较大,也直接影响到光栅的精密度。

针对以上难点,志业光电集中了公司相关技术骨干,逐一进行试验。同时发挥现代网络协作的功能,和兄弟单位以致台湾地区的科研人员合作,采用了目前世界领先的光刻制版技术和光复工艺,解决了大面积曝光设备等技术节点,在新制造上作了很好的尝试。

 









用大型测量显微镜测量超薄型光栅的精度


 研制成功的光栅,经高精度仪器检定,角度误差≥+ -2",是周期要求的1%。黑铬膜透过率1/10000,光学密度D5,在波长880nm的红外光区有优良的截止功能,完全达到了客户的设计要求。

 

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