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精缩光刻机完成调校 志业光电实现光学板完全自主加工

2018-5-5

为了适应新的一年新产品的研制需求,进一步提升刻线质量,扩大产能,新春伊始,南京志业光电精密技术有限责任公司引进了光学分划板加工的尖端设备大型精缩光刻机。

精缩光刻机是高端光学分划零件加工生产的关键装备,为了保证产品加工质量,志业光电高度重视光刻机的精度调校工作,专门从北京请来相关领域的国家级专家。崔工连续工作三天,对精缩光刻机进行了全面校正。在调校过程中,崔工发现光刻机中的反光板脱落,当即指导志业光电公司的工程技术人员进行胶合,并重新校正水平及角度精度。调校中,崔工还因地制宜,对脉冲激光器进行了重新组合,使光刻机的工作电压从0.6伏恢复到1.6伏,达到正常水平。在通电测试阶段,激光器突然出现衰减,崔工凭借丰富的实践经验,正确判断,这是运输过程中机器中进入的灰尘微粒脱落所致,经过简单的清洁除尘,脉冲度立即恢复到十级标准。这个插曲也再次提醒在场的工程技术人员,精密光刻加工对环境洁净度的极高要求。

426日,第一块光学光刻元件加工完成,标志着志业光电公司光学分划板自主加工能力又迈上了一个新的台阶。从此,志业光电能够在203mm X 203mm的范围内,精度达亚微米级的大面积光刻集成元件实现自主加工,志业公司生产光学光刻尖端产品的能力将进一步得到提升。

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